ALICAT 氣體質量流量↓控制器 21系列

品牌: ALICAT

量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM
響應時間小于30 ms

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ALICAT 低壓損氣體☆質量流量控制器▲ 21W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
優于1 %的精度
量程可控▃比寬，0.5~100 %滿量程

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ALICAT 氣體質量流量控制器☉-耐腐蝕型 21S系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～6000 SLPM
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
量程可控比1%-100%

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ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列

品牌: ALICAT

響應式氣體流量控制，适用于高壓應用

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ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
内置98種氣體，100ms響應時間，優于1%精度

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ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
内置128種氣體，100ms快速ξ　響應時間●，優于1%的精度

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ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列

品牌: ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
熱貼片原理，體積小巧精緻，适合∩系統集成
100ms快速響應時間，優于2%精度

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ALICAT CVD行業專用真空控制器 53系列

品牌: ALICAT

CVD行業專用真空控制器

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ALICAT CVD專用氣體質量☆流量控制器 51系列

品牌: ALICAT

CVD專用氣體質量流量控制☆器
層流差壓原理
非抗腐蝕

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ALICAT 氣體質量流量控制器-基本型 11系列

品牌: ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

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