ALICAT 科裡奧利質量流量計和控制器 CODA系列

品牌: ALICAT

量程100 g / h - 10000 g / h，優于0.5%的精度，優于100 ms響應時間

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ALICAT 氣體質量流量計 20系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 sccm — 6000 slpm
測量範圍 0.01 ～ 100% 滿量程
内置98種氣體，10ms快速響應時間，精度優于1%

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ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型 20W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM —— 1000 SLPM
可測範圍廣，0.01~100%滿量程
滿量程超低壓損最低為480Pa

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ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 5000 SLPM
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
層流差壓▓原理
抗腐蝕型

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ALICAT 高壓氣體質量流量計 20Q系列

品牌: ALICAT

高壓應用實時多元流量測量

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ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列

品牌: ALICAT

量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM
響應時間小于30 ms

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ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
優于1 %的精度
量程可控比寬，0.5~100 %滿量程

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ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～6000 SLPM
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
量程可控比1%-100%

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ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列

品牌: ALICAT

響應式氣體流量控制，适用于高壓應用

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ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
内置98種氣體，100ms響應時間，優于1%精度

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